VAT（瑞士）Inline 直通真空阀（直通阀）

VAT Group AG，瑞士，Inline Valve 直通阀，介质直线贯通、进出口同轴，和 90° 转弯的 Angle 角阀是两类产品，不可互换；核心大多采用金属波纹管密封结构，隔绝真空腔体与驱动侧，极低漏率，高真空 / 超高真空隔离，半导体、镀膜、科研真空主流阀件VAT Group ...

主流直通系列（你之前询价的 216 系列属于紧凑型直通）

1. 216 系列 HV Inline（常用，你之前型号 21614-YY11-ABT2 HV）

• 定位：小型紧凑型波纹管直通阀

• 通径：DN16 / DN25 / DN40（型号 21614=DN16；21624=DN25；21632=DN40）

• 法兰：ISO-KF 快拆

• 驱动：YY11 = 单作用弹簧常闭 NC（断气关）；YY21 = 单作用常开 NO；双作用另有代码

• 反馈：带 T 后缀 = 阀位电气反馈（开 / 闭信号）；不带 T 仅目视指示

• 漏率：≤1×10⁻⁹ mbar・l/s；压力区间 1e-8 mbar～1.5 bar 绝压

• 密封标配：FKM（Viton）；阀体 316L 不锈钢

• 气源：4–8bar 干燥洁净压缩空气，M5 气口；开关时间约 0.4s

• 工作温度：0～120℃；洁净工况波纹管寿命＞20 万次循环

• 优势：体积小，适合真空计、旁路、小型腔体隔离

2. 26.5 / 265 系列 HV Inline

• 中大通径波纹管直通款，DN16~DN100，ISO-KF / ISO-F 法兰可选

• 漏率同样 1e-8 级别，压差耐受更强，开关速度更快（0.1s）

• 适合流量更大的粗抽、主抽管路隔离，比 216 系列更大、刚性更强VAT Group ...

3. 24.5 Inline 大流量直通阀

• 大通径版本，最大可做到 DN800；铝 / 不锈钢阀体可选

• 压力范围：1e-7 mbar～5 bar 绝压，允许轻微含颗粒工艺气体

• 多用于大型真空腔体、排气主管道，真空泵组主隔离阀VAT Group ...

4. 25.1 HV Cylinder Inline 缸式直通阀

• 气缸式直通，抗压差能力强，适合工艺侧压差波动大的工况，半导体工艺腔常用